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        磁控濺射鍍膜常見毛病及解決辦法

        2020-11-11  來自: 肇慶高要區恒譽真空技術有限公司 瀏覽次數:839

          磁控濺射鍍膜常見毛病及解決辦法

          1.無法起輝

          (1)直流電源毛病,查看直流電源;

          (2)氬氣進氣量小,查看氬氣流量計或加大氬氣進氣量;

          (3)真空室清潔度不行,清潔真空室;

          (4)靶材絕緣度不行,查看靶是否與地短路,在通水的情況下,對地電阻應該在 50kΩ以上;

          (5)磁場強度不行,查看永磁體是否消磁;

          (6)真空度太差,查看真空體系。

          2.輝光不穩

          (1)電壓電流不穩,查看電源;

          (2)真空室壓力不穩,查看氬氣進氣量及真空體系;

          (3)電纜毛病,查看電纜是否連接良好。

          3.成膜質量差

          (1)基片外表清潔度差,清潔基片外表;

          (2)真空室清潔度差,清潔真空室;

          (3)基片溫度過大或過小,查看溫控體系,校準熱電偶;

          (4)真空室壓力過大,查看真空體系;

          (5)濺射功率設置不當,查看直流電源,設置何事的設定功率。

          4.濺射速率低

          (1)氬氣進氣量過大或過小,調查輝光色彩可以判定氬氣是過大仍是過小,據此調整氬氣進氣量;檢修流量計;

          (2)靶材過熱,查看冷卻水流量;

          (3)查看永磁體是否消磁。

        關鍵詞: 磁控濺射鍍膜           

        肇慶市高要區恒譽真空技術有限公司主要產品有:手機鍍膜機,光學鍍膜機,塑料鍍鋁機,PVD鍍膜機,光學鏡片鍍膜機,鈦金爐,多弧鍍膜機,pvd真空電鍍,離子鍍膜機,鍍鈦機,陶瓷鍍膜機,濺射鍍膜機,卷繞鍍膜機,真空鍍膜機,鍍膜機,離子鍍,真空電鍍機,真空鍍膜設備等系列。


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